Elektrostatisk adsorpsjon av ion-vifte
I LCD-industrien blir glassunderlaget større og evnen til å tiltrekke seg ladninger økes også. På grunn av substratets store størrelse kan enhver forurensning føre til en reduksjon i utbyttet. I likhet med andre forurensningsindustrien har LCD-industrien vært på utkikk etter nye materialer som kan løse ESD-problemer. Materialer som brukes i rene rom er også mer sannsynlig å bruke antistatiske ionblåsere, og nye materialer kan prøves på bomullspott og filler i stedet for tradisjonelle materialer.
Det største problemet med ESD-kontroll i et rent rom er bevegelsen av mennesker i det rene rommet. Fordi folk har på seg mange polyesterstoffer, genererer de mye elektrisk ladning. Den eneste måten å fjerne denne avgiften i et rent rom er til bakken.
I de siste fem årene har det vist seg at et plaggsystem laget av en blanding av karbonfiber og stoff gir rene romkrav for ISO 5 (klasse 100).
Hver del av plagget har samme elektrisk ledningsevne og har en elektrisk ledende forbindelse fra hetten til sålen. Personer som arbeider i et rent rom kan gå gjennom den ledende sålen uten jording når de bærer slikt klær, slik at de ikke er begrenset av lengden av jordledningen.
Fremveksten av slike arbeidsklær er et resultat av høye krav til produktet, noe som bidrar til å redusere lav avkastning og høy dårligere rente forårsaket av ESD-problemer i det rene rommet.
Det er ingen billig og rask reparasjonsmetode for ESD ion fan kontroll. Nøkkelen er å styre ESD, for eksempel en suspendert laminarflow-ionventilator, eller installer en ionventilator ved siden av materialet som trenger å kontrollere ESD. Etter hvert som størrelsen på brikken (IC) reduseres, blir den mer følsom overfor ESD. Nå er kontrollen av ESD ikke begrenset til beskyttelsen av arbeidsnettet, men også kontrollen av waferen og personalet som produserer waferen. Mange selskaper med høye standarder styrer ESD på denne måten.
