Bruksbetingelser for ionvifter i høyteknologisk produksjon

Jan 12, 2022 Legg igjen en beskjed

Betingelser for bruk av ionvifter i høyteknologisk produksjon

En endring i lastteknologien til ionviften vil påvirke den statiske kontrollen av isolerende materialer i produksjonen av høyteknologiske produkter. Styring av statisk elektrisitet er grunnlaget for å forbedre produksjonseffektiviteten, forbedre kvaliteten og øke fortjenesten. Ved produksjon av halvledere, harddisker og flatskjermer (FPDer) er elektrostatisk kontroll en av de grunnleggende produksjonsforholdene. Unnlatelse av å kontrollere statisk elektrisitet betyr at produkter lider av stor ionisk forurensning (ESA-problem) og elektrostatisk utladning (ESD-problem) forårsaket av elektrostatisk tiltrekning.


Organisasjoner som ESD Association og Semiconductor Equipment and Materials International har statiske kontrollsystemer som eliminerer statiske problemer. Hovedmetoden for dette er å bruke statiske ledende materialer og statiske dissipative materialer (inkludert menneskekroppen) for å koble direkte til jorden for å spre statisk elektrisitet. Imidlertid bruker både selve produktet og arbeidsmiljøet uunngåelig isolerende materialer.


Når isolasjon er en integrert del av selve materialproduktet, kan du ikke erstatte det. For eksempel brukes silisiumskiver med oksidlag til fremstilling av høyteknologiske produkter, enkeltlederenheter innkapslet i epoksyharpikser, isolerende materialer på enhetspinner, epoksy trykte kretskort og glassplater i FPDs-industrien. I tillegg er Teflon, kvarts og mange plastmaterialer høy temperatur, korrosjonsbestandige og renromskompatible, men de er alle isolerende materialer. Jording eliminerer ikke statiske ladninger på isolerende materialer, så i de fleste tilfeller er det eneste gjenværende alternativet nøytralisering med luftionisering. Dette krever bruk av spesielt statisk elimineringsutstyr.