Statiske strømbehov for rene rom
(1) Rent rom
Halvledere, flatskjermer med flytende krystall, optoelektronikk og biomedisin krever alle rene produksjonsverksteder. Generelt refererer rene rom til rom eller begrensede rom der konsentrasjonen av suspenderte luftpartikler i rommet styres innenfor angitte grenser. Jo mindre det begrensede antallet partikler, desto høyere renslighet.
(2) Statisk elektrisitet i rent rom
På grunn av renslighetskravene til det rene rommet, bruk innendørs
(1) Et stort antall dekorative materialer med høyt isolasjonsmedium, gulv, vegger, dører, tak, skillevegger, arbeidsbenker, stoler, etc., disse materialene er enkle å elektrifiseres og lades av friksjon, og er ikke enkle å lekke og frigjøre.
Plastgulv 500V ~ 1000V i fotoetching rom, 500V ~ 1500V i diffusjonsrom, 500V ~ 1500V i flisgulv, 700V for plast tapet, OV ~ 1000V for plasttak, 500V ~ 3000V for metall bevegelig skinnstol overflate.
(2)Når folk bruker rene overalls, sko, gå eller arbeid, vil friksjon med forskjellige materialer, utstyr og utstyr generere statisk elektrisitet, og mennesker, klær og sko vil bli belastet.
Folk som har på seg nylonklær og gummisårne sko i plast går sakte på det rene gulvet, med 7000V ~ 8000V statisk spenning på kroppen.
1200V (10%~20%RH), 250V (65%~90%RH) kan brukes til å gå på vinylgulv, 35000V (10%~20%RH), 1500V (65%~90) kan brukes til å gå på teppe %RH), sponmonteringslinjen, arbeidsklærne som folk bruker kan nå 10.
(3)Luftstrømmen til klimaanlegget passerer gjennom det primære effektfilteret, mellomeffektfilteret og høyeffektfilteret, og den rensede utløpsluftstrømmen lades elektrostatisk.
Aluminiumsplate lufttilførsel og returluftuttak er 500 ~ 1000V.
(4) Et stort antall isolerende utstyr, utstyr og verktøy er også viktige kilder til elektrostatisk ladning. Wafer montering produksjonslinje: wafer lasteboks 35KV, plexiglass deksel 8KV, kvarts produkt 1.5KV, wafer skuff 6KV, akryldeksel 20KV, bordplate 10KV, plast oppbevaringsskap 30KV, glassfiber krystall lasteboks glir over polypropylen bordplaten Med 10KV.
Kort sagt: jo høyere renslighetskravene til det rene rommet, jo mer alvorlig er den elektrostatiske ladingen.