Farer for statisk elektrisitet i mikroelektronikk-rene rom
Økt statisk elektrisitet vil redusere kvaliteten på elektroniske produkter, elektromagnetisk interferens vil avbryte driften av automatisk utstyr, og elektrostatisk adsorpsjon vil øke vanskeligheten med å samle overflatepartikler, så det er også nødvendig å kontrollere genereringen av statisk elektrisitet. Fordi elektrostatiske ladninger faktisk tiltrekker forurensninger til produkt- eller verktøyoverflater, blir elektrostatisk adsorpsjon et fokus for oppmerksomhet i rene rom. For eksempel, når en 4-inch wafer lades til 1KV, vil adsorpsjonskraften for partikler med en diameter på 1 mikron nå 830,000 pund per kvadrattomme. Derfor vil elektrostatisk adsorpsjon mellom ladede objekter og partikler være sterkere enn gravitasjon, aerodynamiske krefter og adhesjonskrefter.
De viktigste manifestasjonene av farer for statisk elektrisitet i rene verksteder i elektronikkindustrien inkluderer:
1. Absorber støv. På grunn av elektrostatisk adsorpsjon adsorberes luftpartikler i rene rom på overflatene til elektroniske komponenter og vegger, noe som påvirker produktkvalitet og renslighet. Statisk elektrisitet har også blitt en ny støvkilde i rene rom.
2. Forårsak branner og eksplosjoner. En stor mengde brennbare og eksplosive gasser, væsker og organiske løsemidler brukes i renrom i elektronikkindustrien. Statisk elektrisitet kan bli antennelseskilden til disse gassene (væskene) og løsemidler, og forårsake brann eller eksplosjoner.
3. Koronautladning, eller gnilutladning, avgir støy og forstyrrer elektronisk utstyr og elektroniske komponenter.
4. Generer et elektrostatisk elektrisk felt som forårsaker kortslutning, tretthet eller skade på elektroniske komponenter.
Av denne grunn er den kontinuerlige forbedringen av teknologien i mikroelektronikkindustrien også en manifestasjon av den kontinuerlige forbedringen av antistatisk teknologi. Innholdet i elektrostatiske beskyttelsessystemer blir mer og mer rikelig. I tillegg til konvensjonelle personellbeskyttelsessystemer (antistatiske klær, antistatiske sko, antistatiske håndleddsstropper, etc.), i tillegg til maskinvarebeskyttelsessystemer som statisk elimineringsutstyr, er det som må legges til mer etablering av programvare for elektrostatiske beskyttelsessystemer.