Effekter av elektrostatiske faktorer på integrert kretsemballasje
Med den kontinuerlige og stabile veksten i mitt lands nasjonale økonomi og kontinuerlig innovasjon og utvikling av produksjonsteknologi, blir kravene til produksjonsteknologi på produksjonsmiljøet høyere og høyere. I storskala og ultra-storskala IC-produksjon stiller de tidligere og påfølgende prosessene høyere krav til produksjonsmiljøet, ikke bare for å opprettholde en viss temperatur, fuktighet og renslighet, men også for å betale nok oppmerksomhet til elektrostatisk beskyttelse.
Som vi alle vet, tilhører emballasjeindustrien etterproduksjonsprosessen for hele IC-produksjonen. I denne prosessen, for plastpakket IC, hybrid IC eller monolitisk IC, er det hovedsakelig wafer tynning (sliping), waferskjæring (dicing), kjernebinding (binding), emballasje (pakke), pre-herding, Plating, utskrift, etterherding, ribbeskjæring og montering, hver prosess har forskjellige krav til forskjellige prosessmiljøer.
Effekter av elektrostatiske faktorer på integrert kretsemballasje
For det første kan årsakene til statisk elektrisitet ses overalt. Med den raske utviklingen av vitenskap og teknologi og den høye graden av automatisering av industriell produksjon, er skaden av statisk elektrisitet i industriell produksjon åpenbar, noe som vil forårsake ulike hindringer, begrense forbedringen av automatiseringsnivået og påvirke produktkvaliteten. I henhold til den faktiske situasjonen for fabrikkens IC-emballasje- og produksjonsprosess, er årsakene til statisk elektrisitet hovedsakelig som følger.
1. De fleste bygningsdekorasjonsmaterialene i produksjonsverkstedet bruker materialer med høy motstand. Produksjonsprosessen krever bruk av rene verksteder eller ultrarente verksteder.
Det kreves at partikkelstørrelsen på støvfjerningspartiklene endres fra 0,3 μm til 0,1 μm, og støvpartikkeltettheten er ca. 353 stykker / m3. Derfor, i tillegg til å installere ulike støvfjerningsutstyr, bør uorganiske og organiske støvfrie materialer også brukes til å forhindre støv. De elektriske egenskapene til byggematerialer anses imidlertid ikke som en indikator. Det er ingen forskrifter om designspesifikasjoner for rene verksteder av industrielle bedrifter. Innredningsmaterialene som brukes i det rene verkstedet til IC-fabrikken inkluderer hovedsakelig polyuretan elastisk gulv, polyamidfiber, hard plast, polyetylen, plasttapet, harpiks, tre, hvitt porselensbrett, emalje, gips, etc. De fleste av de ovennevnte materialene er polymerforbindelser eller isolatorer. For eksempel er resistiviteten til plexiglasskroppen 1012 ~ 1014 / cm, og resistiviteten til polyetylenkroppen er 1013 ~ 1015 / cm, så ledningsevnen er relativt dårlig, og den statiske elektrisiteten som genereres av en eller annen grunn, er ikke lett å lekke til bakken gjennom dem, noe som resulterer i statisk elektrisitet. akkumulering.
2. Statisk elektrisitet i menneskekroppen
De forskjellige bevegelsene og frem og tilbake av operatørene i det rene verkstedet, nær kontakt og separasjon mellom sålen og bakken, samt aktivitetene og friksjonen til ulike deler av menneskekroppen, enten det er rask gange, langsom gange eller trav, vil generere statisk elektrisitet, som kalles walking elektrifisering; når menneskekroppen beveger seg Når du står opp, skilles arbeidsklærne som bæres av menneskekroppen fra stoloverflaten etter kontakt, og statisk elektrisitet vil også bli generert. Hvis den statiske spenningen i menneskekroppen ikke kan elimineres og IC-brikken berøres, kan det føre til at IC-sammenbruddet uvitende.
3. Statisk elektrisitet fra klimaanlegg og luftrensing
Siden IC-produksjon er nødvendig for å utføres med en relativ fuktighet på 45-55%, bør klimaanlegg og luftrensing utføres samtidig. Den avfuktede luften skal sendes til det rene rommet gjennom primærfilteret, mellomfilteret, høyeffektivfilteret og luftkanalen. Vindhastigheten til den totale luftkanalen er vanligvis 8 ~ 10m / s, og luftkanalens indre vegg er malt. Statisk elektrisitet opprettes når tørr luft beveger seg i forhold til kanalen, tørr luft og filter. Vær oppmerksom på det følsomme forholdet mellom statisk elektrisitet og fuktighet.
I tillegg genererer halvfabrikata og IC-produkter statisk elektrisitet under emballasje og transport, noe som er en av faktorene for elektrostatisk lading.
For det andre er statisk elektrisitet svært skadelig for ic. Generelt sett har statisk elektrisitet egenskapene til høyt potensial og sterkt elektrisk felt. I prosessen med elektrostatisk lading-utladning dannes noen ganger forbigående høystrømsutslipp og elektromagnetiske pulser (EMPer), noe som resulterer i et bredspektret elektromagnetisk strålingsfelt.
I tillegg, sammenlignet med konvensjonell elektrisk energi, er elektrostatisk energi relativt liten, og elektrostatiske utslippsparametere (ESD) er ukontrollerbare, noe som er en tilfeldig prosess som er vanskelig å gjenta, så rollen blir ofte oversett. Spesielt innen mikroelektronikk er skaden den gjør for oss svimlende. Det rapporteres at det direkte økonomiske tapet forårsaket av statisk elektrisitet er så høyt som hundrevis av millioner yuan hvert år, noe som har blitt et stort hinder for utviklingen av mikroelektronikkindustrien.
I halvlederenhetsverkstedet vil utbyttet av IC, spesielt VLSI, bli kraftig redusert på grunn av støv adsorbert på brikken. Operatører i produksjonsverkstedet Ic bruker rene overalls. Hvis menneskekroppen har statisk elektrisitet, er det lett å absorbere støv og smuss. Hvis disse støv og smuss bringes til operasjonsstedet, vil det påvirke produktkvaliteten, forverre produktytelsen og redusere IC-utbyttet sterkt. Hvis radiusen til adsorberte støvpartikler er større enn 100m, er linjebredden ca 100m, og filmtykkelsen er mindre enn 50m, produktet er mest sannsynlig å bli skrapt.
Igjen har skaden på statisk elektrisitet til IC visse egenskaper.
(1) Skjuling Med mindre elektrostatisk utladning oppstår, kan menneskekroppen ikke direkte oppfatte statisk elektrisitet, men menneskekroppen kan ikke føle elektrisk støt når elektrostatisk utladning oppstår. Dette skyldes at den elektrostatiske utladningsspenningen som oppfattes av menneskekroppen er 2 ~ 3kv, så den statiske elektrisiteten er skjult.
(2) Potensial Noen vasker har ingen åpenbar ytelsesforringelse etter elektrostatisk skade, men flere kumulative utslipp vil forårsake intern skade på IC-enheten og forårsake skjulte farer. Så statisk elektrisitet har potensiell skade på IC. (3) Under hvilke omstendigheter vil tilfeldige ICer bli skadet av statisk elektrisitet? Det kan sies at alle prosessene til en IC-brikke fra generasjon til skade er truet av statisk elektrisitet, og genereringen av disse statiske elektrisitetene er også tilfeldig, og skaden er også tilfeldig.
(4) På grunn av de fine, tynne og små strukturelle egenskapene til mikroelektroniske integrerte kretsprodukter, er feilanalysen av komplekse elektrostatiske utslippsskader tidkrevende, kostbare og teknisk krevende, og instrumenter med høy presisjon brukes ofte. Likevel er noen elektrostatiske skadefenomener vanskelig å skille fra skade fra andre årsaker. Det fører folk til feil ESD-skadede feil for andre feil, ofte på grunn av tidlige feil eller feil som er ukjente før ESD-skade er fullt ut forstått, og dermed ubevisst maskere den sanne årsaken til feilen. Derfor er det komplisert å analysere skaden på statisk elektrisitet til integrerte kretser.
Oppsummert, i prosessen med IC-prosessering, produksjon og emballasje, er det nødvendig å etablere et elektrostatisk beskyttelsessystem! Produksjonslinjer for IC-emballasje har strengere krav til statisk elektrisitet. For å sikre normal drift av produksjonslinjen, bør det rene verkstedet dekoreres med antistatiske byggematerialer, og alt personell som kommer inn og forlater det rene verkstedet, bør bruke antistatiske klær. I tillegg kan emballasjeselskaper formulere bedriftsstandarder eller spesifikke antistatiske krav i henhold til relevante nasjonale standarder og selskapets faktiske situasjon for å samarbeide med normal drift av den integrerte kretsemballasjeproduksjonslinjen. Med utvidelsen av Kinas integrerte kretsemballasjeproduksjonslinjer, den årlige forbedringen av emballasjekapasiteten, økningen av emballasjevarianter og de høyere kravene til produktkvalitet og produksjon, har det blitt viktigere å styrke ulike programvare- og maskinvarekrav og den elektrostatiske beskyttelsesbevisstheten til alle ansatte. Dette spiller også en "hovedperson" og "usynlig morder" som påvirker kvaliteten på produktene våre. Derfor vil elektrostatisk beskyttelse være hovedproblemet i hele den integrerte kretsindustrien for tiden og i fremtiden.