Statisk kontroll av renrom
1. Grunnleggende prinsipper for statisk kontroll
(1) Bestem nivået av statisk kontroll (2) Minimer generering av statisk ladning (3) utslipp og nøytraliser for å akselerere spredningen av statisk ladning og forhindre statisk akkumulering (4) beskytte produkter mot ESD -skade
2. Bestem nivået av statisk kontroll
(1) Klassifisering av statisk følsomhet for komponenter, samlinger og utstyr
Nivå 1: Mottatt for 0-1999 V statisk spenning
Nivå 2: mottakelig for 2000-3999 V statisk spenning
Nivå 3: Mottatt for 4000-5999 V Statisk spenning Hvis den sensitive statiske spenningen er større enn 16000V, er det ingen antistatiske tiltak.
(2) Klassifisering av arbeidsområder for elektrostatisk beskyttelse
Klasse A: Det elektrostatiske potensialet til bakken har ikke mer enn ± 100V
Klasse B: Det elektrostatiske potensialet til bakken tillates ikke mer enn ± 1000V. I faktisk ingeniørfag er det tre nivåer av elektrostatisk potensial som ikke mer enn 100V, 500V, 1000V osv., Tilsvarende de elektrostatiske følsomme spenningene for komponenter, enheter og utstyr.
3. Minimer generasjonen av statisk elektrisitet
Dette er det første trinnet i tretrinnsprosessen med å kontrollere statisk elektrisitet. I dette rensede arbeidsmiljøet er de beste tiltakene:
(1) Prøv å bruke utstyr med lignende egenskaper for å redusere generering av statisk elektrisitet under kontakt-, friksjons- og separasjonsprosessen;
(2) Prøv å bruke utstyr med elektrostatisk ledende eller elektrostatisk dissipative materialer for å redusere akkumulering av statisk elektrisitet under kontakt-, friksjons- og separasjonsprosessen;
(3) Prøv å bruke produksjonsprosesser som reduserer generering av statisk elektrisitet på grunn av kontakt, friksjon og separasjon.
4. Utslipp og nøytralisering
Dette er det andre trinnet i tretrinnsprosessen med å kontrollere statisk elektrisitet. De vanligste tiltakene i det rene rommet for mikroelektronikkproduksjon er jording, ved bruk av ledende eller dissipative materialer for å slippe ut statisk elektrisitet og ionisere eliminatorer for å nøytralisere statisk elektrisitet.
(1) Jording av det rene rommet skal ha et uavhengig elektrostatisk jordingssystem (inkludert jording av metallnettsystem og produksjonslinje for produksjonslinjen) slik at alle metallhus med utstyr i rommet, metallbraketter med mobilt utstyr, antistatisk utstyr, etc. kan trygt og effektivt utladet statiske ladninger til bakken. Personalets ladning er jordet gjennom håndleddet, og slippes deretter ut til bakken gjennom det antistatiske gulvet gjennom de antistatiske skoene eller hælstroppene. Bakken, vegger, tak, skillevegger osv. Er hard jording, mens utstyrshuset, mobilt utstyr (biler, stoler, hyller, etc.), arbeidsbenker, etc. er mykt jording.
(2) Ioniserte elektriske apparater Det er alltid noen isolerte ledere og isolerende dielektriske materialer (for eksempel mest vanlig plast) som ikke kan jordes på komponentene, PCB, produksjonslinjer og arbeidsstasjoner produsert og satt sammen i det rene rommet. I noen miljøer brukes ioniserte elektriske apparater ofte for å lokalt spre de statiske ladningene på disse objektene, og oftere brukes luftionisering for å nøytralisere de statiske ladningene på isolasjonsmediet og isolerte ledere.
(3) ledende og dissipative materialer
Ledende og dissipative materialer er også gode materialer for å slippe ut statisk elektrisitet på grunn av deres ledningsevne. De er også tryggere enn metallledere. De brukes vanligvis som antistatisk utstyr som gulv, vegger, arbeidsbenker, omsetningsbeholdere, pinsett og børster.
5. Forhindre ESD
Å beskytte produkter er det siste trinnet i tretrinnsprosessen med å kontrollere statisk elektrisitet. I det rene rommet med mikroelektronikkproduksjon, for å forhindre at ESD oppstår på statisk følsomme komponenter eller samlinger, og PCB, er en metode å gi passende jording eller shunts for komponenter og samlinger for å "spre" den statiske elektrisiteten på produktene; En annen metode er å bruke passende emballasjemetoder og materialer for å håndtere emballasje og transport av statisk følsomme enheter. Disse materialene kan effektivt beskytte ladningen mot å invadere produktet og redusere den statiske elektrisiteten som genereres av produktet som beveger seg i emballasjeboksen. Dette er en advarsel til komponentbrukere, som forteller deg kravene til miljøkontroll som kan være nødvendig når du produserer utstyr, enten det er for personell eller utstyr. Hvis spenningen som er tillatt i EPA-området når 25V, er jeg redd for at vårt eksisterende antistatisk utstyr, utstyr, verktøy og prosjektering må gjennom mye hardt arbeid.